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[发明专利]高浓度臭氧水的制造方法及高浓度臭氧水的制造装置-CN201080067363.7有效
发明人：小池国彦;中村贞纪;牧平尚久;泉浩一;井上吾一;方志教和;南朴木孝至 -专利权人：夏普株式会社;岩谷产业株式会社
申请日： 2010-11-25 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： B01F1/00 文献下载
摘要：一种生成高浓度的臭氧水的装置，在该装置中，高压浓缩臭氧气体供给系统与臭氧气体溶解部（4）相连通连接，高压浓缩臭氧气体供给系统具有：臭氧气体产生部（1），其用于生成臭氧气体；臭氧气体浓缩部（2），其用于浓缩所生成的臭氧气体；浓缩臭氧气体加压部（3），其用于使从臭氧气体浓缩部（2）导出的浓缩臭氧气体的压力升高；冷却机构（13），其用于冷却浓缩臭氧气体加压部（3）；通过使高压浓缩臭氧气体溶解于纯水来形成高浓度臭氧水。
浓度臭氧制造方法装置

[发明专利]一种臭氧保鲜饭盒-CN201410095504.6有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：杨旭梅
申请日： 2014-03-09 - 公布日： 2014-08-13 - 主分类号： A45C11/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种臭氧保鲜饭盒，所述臭氧保鲜饭盒包括饭盒体、盒盖、连接于饭盒体一侧的臭氧发生器、其中盒盖外侧设有盒盖臭氧气体入口，盒盖内侧设有盒盖臭氧气体出口，盒盖臭氧气体入口与盒盖臭氧气体出口连通，臭氧发生器设有气体出口，臭氧发生器气体出口与盒盖臭氧气体入口通过排气管相连接。开通电源，臭氧气体可以通过盒盖臭氧气体入口、盒盖臭氧气体出口进入饭盒体内对所盛食品灭菌、防腐。
一种臭氧保鲜饭盒

[实用新型]一种臭氧保鲜饭盒-CN201420113784.4有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：杨旭梅
申请日： 2014-03-09 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： A45C11/20 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种臭氧保鲜饭盒，所述臭氧保鲜饭盒包括饭盒体、盒盖、连接于饭盒体一侧的臭氧发生器、其中盒盖外侧设有盒盖臭氧气体入口，盒盖内侧设有盒盖臭氧气体出口，盒盖臭氧气体入口与盒盖臭氧气体出口连通，臭氧发生器设有气体出口，臭氧发生器气体出口与盒盖臭氧气体入口通过排气管相连接。开通电源，臭氧气体可以通过盒盖臭氧气体入口、盒盖臭氧气体出口进入饭盒体内对所盛食品灭菌、防腐。
一种臭氧保鲜饭盒

[发明专利]水处理膜的清洁装置、清洁方法以及水处理系统-CN201780091540.7有效
发明人：古贺大道;时盛孝一;后藤伸介 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2017-06-07 - 公布日： 2022-03-01 - 主分类号： B01D65/06 文献下载
摘要：本发明的目的在于得到防止大型化、结构简单且臭氧气体的利用效率高的水处理膜清洁装置、清洁方法及水处理系统。清洁装置(10)包括：臭氧气体供给部(11)；具有存储有臭氧气体的气相部(121)及由溶解臭氧气体的水形成的液相部(122)，使臭氧气体溶解于形成液相部(122)的水，生成臭氧水的臭氧溶解槽(12)；将来自臭氧气体供给部(11)的臭氧气体提供给气相部(121)的气相部臭氧气体供给配管(102)；将来自臭氧气体供给部(11)的臭氧气体提供给液相部(122)的液相部臭氧气体供给配管(103)；将在臭氧溶解槽(12)生成的臭氧水提供给过滤二次侧(812)的臭氧水供给配管(105)，通过气相部(121)内的臭氧气体压力将臭氧水提供给过滤二次侧(812)。
水处理清洁装置方法以及系统

[发明专利]基板处理装置、基板处理方法以及存储介质-CN200780005104.X有效
发明人：西村荣一;菊地贵伦 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2007-02-09 - 公布日： 2009-03-11 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：基板处理装置(10)的第三工艺单元(36)具备框体状的处理室容器(腔室)(50)、氮气供给系统(190)和臭氧气体供给系统(191)。臭氧气体供给系统(191)具有臭氧气体供给部(195)、与该臭氧气体供给部(195)连接的臭氧气体供给管(196)。臭氧气体供给管(196)具有以与晶片(W)相对的方式开口的臭氧气体供给孔(197)，臭氧气体供给部(195)通过臭氧气体供给管(196)从臭氧气体供给孔(197)向腔室(50)内供给臭氧(O₃)气体。
处理装置方法以及存储介质

[发明专利]臭氧气体供给系统-CN201080053598.0有效
发明人：中村纪幸;冲原雄二郎;西津徹哉;四元初男;田畑要一郎;伊藤信之 -专利权人：东芝三菱电机产业系统株式会社
申请日： 2010-09-06 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本发明的目的在于提供一种臭氧气体供给系统，其不仅能通过独立控制臭氧气体流量、浓度来对各臭氧处理装置供给臭氧气体，还能进行可靠性高的臭氧气体供给。此外，本发明具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个臭氧发生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，并通过设于内部的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，从而能执行将多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合选择地输出至多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意的臭氧处理装置的臭氧气体输出流量控制。
臭氧气体供给系统

[实用新型]一种用于烟道脱硝的臭氧均匀分布装置-CN201621220012.6有效
发明人：朱晓;陆璐;周丹 -专利权人：江阴天德环境工程有限公司
申请日： 2016-11-14 - 公布日： 2017-11-07 - 主分类号： B01D53/76 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于烟道脱硝的臭氧均匀分布装置，包括臭氧气体总管入口反法兰、臭氧气体总管入口法兰、臭氧气体总管、臭氧气体分管、分管配对法兰、臭氧气体喷管、短管安装法兰、安装短管、多角度喷嘴，其特征在于本实用新型采用臭氧气体总管入口反法兰、臭氧气体总管、臭氧气体分管、分管配对法兰、臭氧气体喷管和多角度喷嘴等组合结构，实现通过拆卸各分管的安装法兰及臭氧气体入口总管法兰，可将整套烟气逆流布气系统整体拉出检修，结构简单，安装方便，臭氧气体覆盖率高，烟气混合均匀，减少了臭氧投加量，对环境保护有利，使用寿命长，便于安装及在线检修等优点。
一种用于烟道臭氧均匀分布装置

[发明专利]臭氧气体溶解水的制造方法及电子材料的洗净方法-CN201380057522.9有效
发明人：床嶋裕人;森田博志 -专利权人：栗田工业株式会社
申请日： 2013-10-10 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：制造出溶存臭氧气体浓度高，而且氧气在使用场所中的气泡化被抑制的臭氧气体溶解水。使用所制造出的臭氧气体溶解水，回避因气泡所引起的洗净不均匀或机器破损的故障而有效率地洗净电子材料。在将臭氧气体及氧气的混合气体和脱气处理水供给至臭氧溶解部使该混合气体溶解于该供水而制造出臭氧气体溶解水时，对供给至臭氧溶解部的混合气体量进行控制，以使在假设混合气体中的臭氧全部分解为氧时的该混合气体中的氧气量和供水中的溶存氧气量的合计，成为所获得的臭氧气体溶解水的使用条件下的氧气的饱和溶解度以下。
臭氧气体溶解制造方法电子材料洗净

[发明专利]臭氧气体供给系统-CN201180069523.6有效
发明人：西村真一;田畑要一郎 -专利权人：东芝三菱电机产业系统株式会社
申请日： 2011-03-24 - 公布日： 2013-12-18 - 主分类号： C01B13/11 文献下载
摘要：本发明的目的在于获得一种臭氧气体供给系统，其搭载有向放电面涂敷用于生成臭氧的光催化剂物质的无氮添加臭氧产生器(1)，并能够向各臭氧处理装置供给可靠性高的臭氧气体。而且，本发明尤其是在原料气体供给部设置用于去除原料气体所含有的水分的机构(59)，使向臭氧气体供给系统供给的原料气体所含的水分量减少，并且具有臭氧气体输出流量管理单元(9)，该臭氧气体输出流量管理单元(9)接收来自多个无氮添加臭氧产生单元(7-1～7-n)的多个臭氧气体输出，利用在内部设置的多个臭氧气体控制阀(9a、9b、9c、9bc、9ab、9ca)的开闭动作，以多个臭氧气体输出中的一个或多个的组合，向多个臭氧处理装置(12-1～12-n)中的任意臭氧处理装置选择性地输出而能够执行臭氧气体输出流量控制。
臭氧气体供给系统

[发明专利]水处理膜清洗装置和清洗方法-CN201880052571.6有效
发明人：古贺大道;时盛孝一;安永望 -专利权人：三菱电机株式会社
申请日： 2018-07-20 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： B01D65/06 文献下载
摘要：在水处理膜清洗装置中，构成为设置有2个臭氧溶解槽，该2个臭氧溶解槽用于存储通过水处理膜对原水进行过滤而得到的过滤水，将该过滤水与从臭氧气体提供部提供的臭氧气体混合并生成含有臭氧气体的过滤水的气体吸引装置附设于每个臭氧溶解槽，在一个臭氧溶解槽中产生的废臭氧气体被附设于另一个臭氧溶解槽的气体吸引装置吸引，在通过该气体吸引装置来将过滤原水而得到的过滤水与废臭氧气体混合后，在另一个臭氧溶解槽中将该过滤水与臭氧气体混合至规定浓度，并且将该含有臭氧气体的过滤水从所述水处理膜的过滤二次侧提供向过滤一次侧，从而清洗该水处理膜。
水处理清洗装置方法

[发明专利]臭氧气体加热机构、基板处理装置以及基板处理方法-CN201810100589.0有效
发明人：吉田崇;佐藤健一;矢野哲也 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2018-02-01 - 公布日： 2021-11-16 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：提供一种减少由于供给臭氧气体而产生的基板温度的偏差的臭氧气体加热机构、基板处理装置以及基板处理方法。一个实施方式的臭氧气体加热机构具备：气体供给单元，其设置在基板处理装置的处理容器内，能够向基板供给臭氧气体；气体供给配管，其与所述气体供给单元连接，能够向所述气体供给单元供给所述臭氧气体；以及配管加热单元，其设置在所述气体供给配管，用于对所述气体供给配管内的所述臭氧气体进行加热。
臭氧气体加热机构处理装置以及方法

[实用新型]一种臭氧机-CN200520107171.0无效
发明人：范益华;范小航 -专利权人：范益华;范小航
申请日： 2005-08-31 - 公布日： 2006-09-20 - 主分类号： C01B13/10 文献下载
摘要：一种能够使臭氧气体产生压力的臭氧机。在其构造中，臭氧发生器安装于臭氧气体收集器中；臭氧气体收集器、气体压缩机、压力罐、喷嘴，它们依序相邻间通过管子进行连接。通电工作时，臭氧发生器产生臭氧气体，由臭氧气体收集器经管子被吸入气体压缩机中增压，注入压力罐中，高压臭氧气体再经喷嘴射出，发挥其作用。
一种臭氧

[发明专利]衬底处理系统和衬底处理方法-CN03152692.6无效
发明人：长野泰博;伊藤规宏 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-06-26 - 公布日： 2004-03-10 - 主分类号： H01L21/306 文献下载
摘要：一种衬底处理系统，配置有通过对含氧气体放电而产生含臭氧气体的臭氧发生器，以及多个都能够在其中容纳衬底以通过供应的含臭氧气体处理衬底的处理容器。流量调节器控制供给臭氧发生器的含氧气体。控制器控制流量调节器，从而通过控制供给臭氧发生器的含氧气体的流速来控制来自臭氧发生器并供给一个或多个处理容器的含臭氧气体的流速。
衬底处理系统方法

[发明专利]衬底处理系统和衬底处理方法-CN200710084416.6无效
发明人：长野泰博;伊藤规宏 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2003-06-26 - 公布日： 2007-09-26 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种衬底处理系统，配置有通过对含氧气体放电而产生含臭氧气体的臭氧发生器，以及多个都能够在其中容纳衬底以通过供应的含臭氧气体处理衬底的处理容器。流量调节器控制供给臭氧发生器的含氧气体。控制器控制流量调节器，从而通过控制供给臭氧发生器的含氧气体的流速来控制来自臭氧发生器并供给一个或多个处理容器的含臭氧气体的流速。
衬底处理系统方法

[发明专利]臭氧气体的浓缩方法以及臭氧气体的浓缩装置-CN201780025299.8有效
发明人：中村贞纪;泉浩一;牧平尚久 -专利权人：岩谷产业株式会社
申请日： 2017-03-03 - 公布日： 2022-03-18 - 主分类号： C01B13/10 文献下载
摘要：提供一种臭氧气体的浓缩方法以及实现该浓缩方法的臭氧气体的浓缩装置(1)，臭氧气体的浓缩方法包括如下工序：向保持有吸附臭氧气体的吸附剂的吸附容器(20)内导入包含臭氧气体的原料混合气体，使吸附剂吸附臭氧气体；将与吸附容器(20)连接为能够切换连通的状态与不连通的状态的浓缩容器(30)的内部在与吸附容器不连通的状态下减压；以及切换为连通内部被减压的浓缩容器(30)与保持吸附有臭氧气体的吸附剂的吸附容器(20)的状态而通过浓缩容器(30)内与吸附容器(20)内的压力差而使吸附于吸附剂的臭氧气体脱附并输送至浓缩容器(30)内，由此向浓缩容器(30)内导入臭氧气体的浓度比原料混合气体高的浓缩混合气体。
臭氧气体浓缩方法以及装置

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